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Dans la microélectronique moderne, le secteur qui se développe le plus intensément est celui des systèmes microélectromécaniques, les MEMS. Cette orientation s'appuie sur les dernières réalisations des technologies microélectroniques et vise à créer des micromécanismes d'exécution qui ont des capacités fonctionnelles jusqu'alors inaccessibles. Ces dernières années, les MEMS ont eu un impact majeur sur la vie quotidienne de dizaines de millions de personnes, grâce à la création de nouveaux marchés pour l'électronique mobile, avec des propriétés de consommation et des secteurs industriels jusqu'alors inconnus - automobile, électronique, aérospatiale, médical, etc. Toutefois, à ce jour, la plupart des spécialistes, des concepteurs d'équipements électroniques et des utilisateurs d'appareils de haute technologie ne disposent pas d'informations suffisantes sur la nouvelle orientation de la microélectronique. Le livre examine l'état actuel de cette orientation de la microélectronique, un large éventail de ses possibilités pratiques et les perspectives de son développement futur. Les principes physiques du fonctionnement des MEMS et leurs caractéristiques sont pris en compte. Ce livre est destiné aux spécialistes de la microélectronique, de l'informatique et aux étudiants des universités techniques.